中国电科抢占碳化硅材料与器件制造设备市场先机

2013-08-30 17:06:14 中国电子科技集团公司

近日，由中国电子科技集团48所、2所、55所共同申请的国家科技部“863”前沿技术项目已获批，该项目的主要目的是为高压碳化硅电力电子器件的制造提供关键设备和工艺，其中包括4-6寸碳化硅单晶生长炉、碳化硅外延生长炉和碳化硅高温高能离子注入机的研发。

当前正值我国大力开展科技创新推动产业转型升级的新时期，碳化硅制造设备已被列入国家《新材料产业“十二五”发展规划》重点产品目录，碳化硅材料和器件的科研也已纳入电力电子行业“十二五”规划。项目获批，对中国电科抢占SiC装备市场的先机奠定了坚实基础。

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